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北方华创氧化和扩散设备主要用于什么环节？

常见问题 发布时间：2026-08-06 09:02:11

氧化/扩散炉可用于晶圆制造中的热氧化、扩散掺杂、退火及相关高温工艺。项目沟通时应说明晶圆尺寸、温度范围、工艺气体、批次产能、洁净要求和自动化接口。

氧化/扩散炉可用于晶圆制造中的热氧化、扩散掺杂、退火及相关高温工艺。项目沟通时应说明晶圆尺寸、温度范围、工艺气体、批次产能、洁净要求和自动化接口。

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