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东方晶源的技术可用于研发还是量产环节？

常见问题发布时间：2026-08-06 09:02:11

电子束检测和计算光刻既可服务工艺研发与节点开发，也可用于量产中的过程监控、缺陷复判和良率提升。最终部署方式取决于检测频率、数据量、节拍和客户质量控制流程。

电子束检测和计算光刻既可服务工艺研发与节点开发，也可用于量产中的过程监控、缺陷复判和良率提升。最终部署方式取决于检测频率、数据量、节拍和客户质量控制流程。

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